中化新網(wǎng)訊 為強(qiáng)化多晶硅安全風(fēng)險(xiǎn)管控，促進(jìn)多晶硅行業(yè)的整體安全水平提升，應(yīng)急管理部組織制定了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅安全生產(chǎn)規(guī)范(再次征求意見稿)》（以下簡稱《規(guī)范》），并于1月20日起向社會(huì)公開征求意見。

據(jù)了解，生產(chǎn)多晶硅過程中涉及氯硅烷、硅烷、氯化氫、氯氣、氫氣等多種性質(zhì)活潑的危險(xiǎn)化學(xué)品，具有易燃、易爆、有毒及腐蝕特性。此外，高純硅粉、回收硅粉不僅具有粉塵爆燃風(fēng)險(xiǎn)，還會(huì)磨損設(shè)備管道，容易造成危險(xiǎn)物料泄漏。近幾年來，多晶硅企業(yè)在生產(chǎn)運(yùn)行環(huán)節(jié)和檢維修環(huán)節(jié)的事故多發(fā)頻發(fā)。

應(yīng)急管理部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)對于多晶硅企業(yè)工藝設(shè)計(jì)、安全設(shè)施設(shè)計(jì)要求內(nèi)容較少，尤其是多晶硅行業(yè)常見的防范氯硅烷、氯化氫、氯氣的腐蝕風(fēng)險(xiǎn)；防范硅粉的磨損風(fēng)險(xiǎn)；合成爐、反應(yīng)器等生產(chǎn)工藝、設(shè)備參數(shù)的安全監(jiān)控、異常情況下的緊急停車要求等。

上述負(fù)責(zé)人進(jìn)一步指出，《規(guī)范》針對當(dāng)前多晶硅生產(chǎn)采用的三氯氫硅還原法工藝和硅烷流化床法工藝，圍繞多晶硅行業(yè)安全風(fēng)險(xiǎn)隱患排查指南及專項(xiàng)檢查過程中暴露的問題，本著機(jī)械化換人、自動(dòng)化減人、智能化無人的原則，注重從源頭提升本質(zhì)安全水平，努力降低工藝操作安全風(fēng)險(xiǎn)。

 《規(guī)范》界定了采用三氯氫硅還原法和硅烷流化床法生產(chǎn)多晶硅的術(shù)語和定義，按照三氯氫硅還原法和硅烷流化床法不同工藝流程走向，從硅粉研磨、多晶硅生產(chǎn)、粗品后加工、儲(chǔ)存直到尾氣處理等逐個(gè)工序規(guī)定了企業(yè)從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)、儲(chǔ)存、應(yīng)急處置環(huán)節(jié)的安全風(fēng)險(xiǎn)管控要求，同時(shí)針對回收硅粉的風(fēng)險(xiǎn)特點(diǎn)，增加了回收硅粉的管理要求。

  《規(guī)范》強(qiáng)調(diào)，企業(yè)應(yīng)建立防腐(磨)蝕、防泄漏管理制度，重點(diǎn)加強(qiáng)對氫氣、氯氣、硅粉、氯硅烷、硅烷的設(shè)備、儀表、管線的泄漏管理，確定檢測部位、檢測頻次和檢測方式。定期對涉及硅粉的管線、設(shè)備內(nèi)壁和承插管磨損情況進(jìn)行檢查，根據(jù)設(shè)備壁厚減薄情況評估防腐效果、核算設(shè)備剩余使用壽命。

根據(jù)三氯氫硅還原法和硅烷流化床法不同生產(chǎn)方式及涉及的關(guān)鍵裝置、重點(diǎn)部位特點(diǎn)，《規(guī)范》明確了各工序生產(chǎn)需要監(jiān)控的工藝參數(shù)及報(bào)警系統(tǒng)設(shè)置，并對安全聯(lián)鎖系統(tǒng)的設(shè)置提出了詳細(xì)的要求；在應(yīng)急充氮保護(hù)方面，提出了三氯氫硅合成爐、還原爐等設(shè)備需要配備應(yīng)急充氮系統(tǒng)，并能實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操作的要求；在氯硅烷及硅烷尾氣回收和處理方面，提出了事故緊急排放氣應(yīng)設(shè)置應(yīng)急噴淋系統(tǒng)，并與事故緊急排放氣管網(wǎng)壓力聯(lián)鎖的要求。

應(yīng)急管理部相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，考慮到現(xiàn)行的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)未能充分反映出多晶硅企業(yè)的安全生產(chǎn)特性且頒布時(shí)間較久，不能滿足對多晶硅行業(yè)高危細(xì)分領(lǐng)域的安全管理新要求等因素，建議《規(guī)范》按照強(qiáng)制性標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。